1、空氣中粉塵濃度中游離SiO2含量 在環境粉塵中游離SiO2含量越高，粉塵濃度越大，則造成的危害越大。粉塵濃度以mg/m3表示，當粉塵中游離SiO2含量較大，且濃度很高（數十甚至數數百mg/m3），長期吸入后，肺組織中形成矽結節。典型的矽結節由多層排列的膠原纖維構成，橫斷面似洋蔥頭狀。早期矽結節中，膠原排列疏松，繼而結節趨向成熟，膠原纖維可發生透明性變。隨著時間的推移，矽結節增多、增大，進而融合形成團塊狀。在煤炭開采中，煤礦巖層往往也含相當高的游離二氧化硅量，有時可高達40%，這些工人所接觸的粉塵常為煤矽混合塵，如果長期吸入大量這類粉塵后，也可引起以肺纖維化為主的疾病。
2、接觸時間 矽肺的發展是一個慢性過程，一般在持續吸入矽塵5～10年發病，有的長達5～20年以上。但持續吸入高濃度、高游離二氧化硅含量的粉塵，經1～2年即可發病，稱為“速發型矽肺”（acute silicosis）。有些矽塵作業工人，在離開粉塵作業時沒有發現矽肺的征象，但日后出現矽結節，并診斷為矽肺，為“晚發型矽肺”（delayde silicosis）。這常見于部隊復員的工程兵，服役時曾從事坑道作業；有的矽塵作業工人調到非粉塵作業。這些工人，脫離接觸粉塵后仍需定期檢查肺部情況。
3、粉塵分散度 分散度是表示粉塵顆粒大小的一個量度，以粉塵中各種顆粒直徑大小的組成百分比來表示。小顆粒粉塵所占的比例愈大，則分散度愈大。分散度大小與塵粒在空氣中的浮動和其在呼吸道中的阻留部位有密切關系。直徑大于10um粉塵粒子在空氣中很快沉降，即使吸入也被鼻腔鼻毛阻留，隨擤涕排出；10um以下的粉塵，絕大部分被上呼吸道所阻留；5um以下的粉塵，可進入肺泡；0.5um以下的粉塵，因其重力小，不易沉降，隨呼氣排出，故阻留率下降；而0.1um以下的粉塵因布朗氏運動，阻留率反而增高。
4、機體狀態 *呼吸道有一系列的防御裝置，吸入的粉塵，首先通過鼻腔時，因鼻毛的濾塵作用和鼻中隔彎曲而阻留，一般為吸入粉塵量的30～50%；進入氣管、支氣管的粉塵，極大部分可由支氣管樹的分叉、粘膜上皮纖毛運動而阻留并隨痰排出；部分塵粒被巨噬細胞或肺泡間質巨噬細胞吞噬成為塵細胞，塵細胞或未被吞噬的游離塵粒可沿著淋巴管進入肺門淋巴結。
游離SiO2粉塵對塵細胞有殺傷力，是造成矽肺病變的基礎。一般來說，進入呼吸道的粉塵98%在24小時內通過各種途徑排出體外，粉塵濃度愈大，超過機體清除能力時，滯留在肺內的量愈大，病理改變也愈嚴重。
凡有慢性呼吸道炎癥者，則呼吸道的清除功能較差，呼吸系統感染尤其是肺結核，能促使矽肺病程迅速進展和加劇。此外，個體因素如年齡、健康素質、個人衛生習慣、營養狀況等也是影響矽肺發病的重要條件。